制振系統

制振系統

現今,機械工業與半導體產業對於振動的防制愈來愈佔有重要的地位。來自環境的振動均對生產機台造成很大的影響,特別在半導體產業,如E-beam Lithopraphy,Electron Microscope等機台,電子束對於振動及外界電磁波之干擾特別敏感,因此有效地控制及防護便是必須的。

諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作,提供半導體&光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。

產品:

          1.   環境微振動數值測量/採集分析系統及服務

          2.   主動式除振基台

          3.   主動式磁場控制系統


諾司實業並與日本DT(Dan-Takuma)協力合作,提供半導體&光罩產業之電磁防護工程。

產品: (Magnetic Shield Room/防磁室)

制振系統

微振動控制的需求,就整體工程而言,雖然它所佔的費用甚少,但卻對未來整體無塵室能否順利運作有著重大之影響力。


諾司於過去承攬工程案件中,屢次接觸客戶有關微振問題,故與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作,可提供客戶進行微振動量測/分析/建議,並可提供主動式防振台藉以改善/解決微振動。

空壓主動式微振動控制裝置

在半導體產業不斷地向細微化發展的同時,為了提高生產效率,生產製造裝置和檢查裝置也不斷地向大型化和高速化方向發展。因此,要求系統的振動性能能夠適應大負荷,能盡快消除由搭載平台運動所引起的過度振動。此系列產品不僅具有超凡的除振性能,還大幅提高了搭載重量和振動控制性能。

主動式除振機台

主動式之有別於被動式,在於它自己擁有自己的振動感知裝置,透過自己之振動感知裝置了解自己所承受之外來振動,再透過電腦程式運算強制產生另外一抵消之力量來消除外來之振動力。