主動式磁場消除系統
汽車、火車、電梯及室內電源線等磁性體的移動和電源變動皆會引起磁場變化;外來干擾磁場對電子束產生的不利影響,而導致應用的相關機器設備無法正常工作。
主動式磁場消除系統 AMC-331,透過磁場傳感器檢測磁場擾動,透過控制器和亥姆霍茲線圈來改善電子顯微鏡的成像及提高電子束應用設備的加工精度。
特點:
1. 高性能:具有高達40~60dB的磁場衰減效果
2. 低成本:與被動式的磁屏蔽室相比較,成本大幅下降
3. 施工簡單:提供專用的材料裝置與線圈佈置
對應機型:
1. 掃描式電子顯微鏡(SEM)
2. 穿透式電子顯微鏡(TEM)
3. 聚焦離子束設備(FIB)
4. 關鍵尺寸量測設備(CD-SEM)
5. 電子束光刻設備(EBL)
6. 其他精密檢測設備