EUV機台使用高架地板

EUV機台專用高架地板

沖孔板 (Perforated Raised Floor Panel)

諾司提供EUV機台周邊使用的重型高架地板，集中荷重能力高達3000kgf，品質值得信賴。服務範圍包括同型材料提供，或是現場工程的施作。
同時，我們也提供高架地板的售後服務。主要材料規格如下表所示：

尺寸及厚度	開孔率	集中荷重 @½ Edge	最大荷重 @½ Edge	公差(mm) 精修 20°C	修邊條	表面塗裝
□ 500mm x 34~41T	21.89%	700 kgf	1500 kgf	尺寸￫客戶規格±0.15 高度￫客戶規格±0.20 平整度￫低於0±0.5	￫有修飾邊條￫無修飾邊條	￫電鍍 (黑色/銀色) ￫環氧樹脂烤漆 (黑色/銀色/深灰色/象牙色) (1x103~109Ohm) ￫鎳鉻 (導電)
□ 600mm x 40~42T	15~23%	500 kgf	1250 kgf
□ 600mm x 46~50T	18~22%	700 kgf	1600 kgf
□ 600mm x 46~55T	18~22%	1000 kgf	2200 kgf
□ 600mm x 46~55T	18~22%	1400 kgf	3000 kgf
□ 600mm x 46~55T	18~22%	1300 kgf	3500 kgf
□ 600mm x 51T	18~20%	1200 kgf	3000 kgf
□ 600mm x 51T	18~20%	1100 kgf	2400 kgf
□ 600mm x 41T	18~20%	600 kgf	1600 kgf
□ 600mm x 50~55T	18~22%	1600 kgf	3800 kgf
□ 24" x 43~50T	18~22%	2400 kgf	4850 kgf
□ 24" x 43~50T	18~22%	3050 kgf	6100 kgf
□ 600mm x 50~60T	18~22%	3050 kgf	6100 kgf

高架地板材料優點：

1. 盲板或沖孔板(開口率範圍 14~26%)

2. 精確製造，以最小公差滿足尺寸要求

3. 揮發性有機物排放量最小化(VOC)

3. 嚴格的質量控制以滿足靜電或導電性要求

3. 產品耐用和可回收

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