超恆溫精密空調系統

超恆溫精密空調系統採用誘導式冷卻循環出風口空調系統，提供實驗室所需±0.1℃的高精度溫度控制，以及低風速送風要求。
由於電子顯微鏡工作環境中空調送風的風波對電鏡設備有相當的影響，因此透過誘導式冷卻循環供風機冷卻方式可達到平緩的對環境進行溫度控制，以達到超恆溫精密空調的環境要求。
循環空調氣流補充到實驗室時，其風速不得大於 0.1m/sec （H=1.5m）的要求。

超恆溫精密空調系統所需條件：

          1.   環境溫度 18~23℃， 設計溫度 20℃±0.1℃ (20℃ ± 0.4℃/ 24 hr, P-P)

          2.   環境濕度 < 80% at 20℃