防磁遮蔽室產品

防磁遮蔽室

現今,機械工業與半導體產業對於振動的防制愈來愈佔有重要的地位。來自環境的振動均對生產機台造成很大的影響,特別在半導體產業,如E-beam Lithopraphy,Electron Microscope等機台,電子束對於振動及外界電磁波之干擾特別敏感,因此有效地控制及防護便是必須的。

諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作,提供半導體&光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。

產品:

          1.   環境微振動數值測量/採集分析系統及服務

          2.   主動式除振基台

          3.   主動式磁場控制系統


諾司實業並與日本DT(Dan-Takuma)協力合作,提供半導體&光罩產業之電磁防護工程。

產品: (Magnetic Shield Room/防磁室)



防磁系統

電磁波EMI屏蔽分成主動屏蔽(ActiveShielding)及被動屏蔽(PassiveShield)。


主動屏蔽譬如磁場補償系統,被動屏蔽譬如磁場衰減隔離室、磁場隔離箱、電波隔離室、電波暗室、電磁波衰減改善工程等。

一般射頻、平面波、微波等高頻電磁波干擾可經由適當的屏蔽(shielding)、接地(grounding)與濾波(filtering)將其干擾衰減降低,低頻可使用主動屏蔽譬如主動式磁場控制系統。


主動式磁場控制系統(Auto Magnetic Field Canceller)

特點:

1.  高性能

具有最大40~60db的超凡衰減性能

2.  低成本

與屏蔽方式的磁場對策相比較,成本約為1/10

3.  施工簡單

只需在裝置周圍固定線圈即可,施工方便。


Magnetic Shield Room/防磁室

我們提供與潔淨室相結合的磁屏蔽,高精度空調和抗化學污染能力,並且其被設計用於屏蔽地磁場的波動影響,並適用於電子束設備。

電子束的設備用於半導體的先進製程,在設備設置環境中需有一個要求更高的環境穩定度。特別是穩定的磁場及穩定的環境溫度是必要的。我們提供高精度的穩定環境來自於多年來磁屏蔽技術與潔淨室施工經驗及訣竅。我們也用自己的化學過濾器來維持在一個超低濃度防磁室環境並防止化學污染。