無塵室產品
制振與磁場控制系統
   首頁     無塵室產品     制振與磁場控制系統
防磁室

現今,機械工業與半導體產業對於振動的防制愈來愈佔有重要的地位。來自環境的振動均對生產機台造成很大的影響,特別在半導體產業,如E-beam Lithopraphy,Electron Microscope等機台,電子束對於振動及外界電磁波之干擾特別敏感,因此有效地控制及防護便是必須的。
諾司實業與日本特許機器株式會社(Tokkyokiki Corporation)協力合作,提供半導體&光罩產業之微振動控制及電磁波控制更優質服務。
產品:
          1.   環境微振動數值測量/採集分析系統及服務
          2.   主動式除振基台
          3.   主動式磁場控制系統

諾司實業並與日本DT(Dan-Takuma)協力合作,提供半導體&光罩產業之電磁防護工程。
產品: (Magnetic Shield Room/防磁室)